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光刻机概念股午后震荡反弹。海立股份触及涨停，张江高科涨逾7%，兰鹰装备、茂莱光学、新莱材料等紧随其后。午后光刻机板块继续上涨。海立股份涨停，联合光电涨超8%，张江高科涨超7%，波长光电、蓝鹰装备、钜光科技、永芯光学、腾晶科技等跟涨。